네덜란드를 방문했던 이재용 삼성전자 회장이 15일 오전 서울김포비즈니스항공센터를 통해 귀국하고 있다./ 사진 : 연합

[대한경제=한형용 기자] “반도체가 거의 90%였다.”

이재용 삼성전자 회장이 15일 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 15일 오전 서울 김포공항 비즈니스센터를 통해 귀국했다. 이 회장은 ASML 등 협력 이번 순방 성과에 대한 취재진의 질문에 반도체 초격자 기술력 확보 논의에 총력했다는 뜻을 밝혔다. 

삼성전자와 ASML은 지난 12일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 진행된 한-네덜란드 반도체 협력 협약식에서 업무협약(MOU)을 맺고 7억 유로(약 1조원)를 투자해 차세대 노광장비 개발을 위한 극자외선(EUV) 공동 연구소 설립을 추진하기로 했다.

ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. EUV 1대당 가격은 약 2000억원에 달하지만, 연간 약 50대만 생산하면서 공급이 수요를 따라가지 못하면서 이른바 ‘슈퍼 을’로 불린다.

7나노미터(㎚ㆍ1㎚=10억분의 1m) 이하의 초미세 공정을 구현하려면 EUV 장비를 필수로 사용해야 한다. 이 때문에 ASML과의 협력 관계는 반도체 업계에서 최대 이슈로 꼽히고 있다.

이 회장은 함께 귀국한 경계현 디바이스솔루션(DS)부문장(사장)도 반도체 협력의 기대심리를 내비쳤다. 경 사장은 “이제 삼성이 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV’에 대한 기술적인 우선권을 갖게 됐다”며 “장기적으로 D램이나 로직에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다”고 말했다.

이어 “협약은 경기도 동탄에 공동 연구소를 짓고 거기서 하이 NA EUV를 들여와서 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발하는 것이 주목적”이라며 “장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더 중요하다”고 설명했다. 또 “EUV가 가장 중요한 툴 중 하나이기 때문에 이를 통해 전체적인 반도체 공급망 입장에서 굉장히 튼튼한 우군을 확보했다”고 평가했다.

한형용 기자 je8day@

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