TSMC 대만 본사. 사진: 연합

[대한경제=이계풍 기자] 대만에서 발생한 규모 7.2의 강진으로 공장 가동을 멈춰선 세계 1위 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 TSMC의 피해 규모에 전 세계가 촉각을 곤두세우고 있다.

전 세계 파운드리 점유율 60%를 차지하는 TSMC의 반도체 생산 중단은 글로벌 반도체 공급망의 차질로 직결될 수 있기 때문이다.

TSMC는 지난 3일(현지시간) 성명을 내고 “지진으로 조업이 중단됐던 공장 설비를 10시간 만에 70% 이상 복구했다”며 “밤 사이에 조업을 재개할 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.

특히 남부 타이난에 위치한 ‘팹18’ 등 3나노(나노미터, 1nm=10억분의 1m)급 생산 라인을 갖춘 신설 공장의 복구율은 80% 이상에 달한다고 설명했다. 팹18은 엔디비아ㆍ퀄컴 등 글로벌 빅테크기업의 첨단 반도체를 생산하는 주요 생산 기지 중 한 곳이다.

하지만, 업계에선 반도체 생산 라인이 움직임에 민감한 장비들로 구성된 점을 고려할 때 피해 규모가 상당할 것으로 예상한다.

특히 초미세공정 필수 장비인 EUV(극자외선) 노광장비의 피해 여부에 이목이 쏠리고 있다.

7나노 이하 초미세 공정에 쓰이는 EUV 노광장비는 반도체의 재료가 되는 웨이퍼에 빛을 주사해 회로를 그리는 핵심 장비다.

TSMC는 지진 발생 이후 “일부 생산라인에서 반도체 설비 일부가 손상됐지만, EUV 노광장비를 포함한 주요 설비는 손상되지 않았다”며 진화에 나섰지만, 사실은 네덜란드 반도체 장비업체인 ASML에 유지ㆍ보수를 요청할 정도로 피해가 심각하다는 게 업계 전언이다.

업계 관계자는 “EUV 제조사인 ASML 네덜란드 법인과 한국 법인 등에서 수십 여명의 엔지니어가 대만으로 파견될 예정”이라며 “인력뿐 아니라 국내에 있는 EUV 장비도 끌어가고 있는 것으로 알고 있다”고 밝혔다.

언론에서는 EUV 장비 외에도 건물의 구조적 결함이 발생했을 가능성도 제기한다.

중국 반도체 전문지 쉬즈진은 TSMC 내부 소식통을 인용해 타이난에 있는 3나노 웨이퍼 팹에서 기둥이 파손되고, 신주 지역 공장에선 파이프가 파열되는 등의 피해를 입으며 반도체 생산이 중단됐다고 보도했다.

업계에선 이번 지진으로 TSMC가 입은 피해 규모만 약 838억원에 달할 것으로 추정한다. 특히 대만에는 TSMC 외에도 대만 2위 파운드리 업체인 유나이티드마이크로일렉트로닉스(UMC)를 비롯해 파워칩, 이노룩스 등 여러 반도체 업체들이 위치한 만큼 전체 피해 규모가 4000억원을 웃돌 것으로 예상한다.


이계풍 기자 kplee@

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