가우스랩스가 AI(인공지능) 기반 가상 계측 설루션 ‘파놉테스 VM 2.0’을 출시했다. / 그래픽 : SK하이닉스 제공

[대한경제=한형용 기자] SK하이닉스의 산업용 인공지능(AI) 전문 자회사 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 설루션 ‘파놉테스 VM(Panoptes Virtual Metrology)’의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 설루션이다. 설루션을 통해 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다는 게 가우스랩스의 설명이다.

가우스랩스는 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹에 도입해 박막 증착 공정에 적용했고, 장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 설루션(APC)과 연동해 공정 산포(제품의 품질 변동 크기)를 약 29% 개선한 데 이어 수율까지 끌어올렸다.

이러한 성과를 바탕으로 SK하이닉스는 성능이 개선된 2.0 버전을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 식각 공정은 웨이퍼에 액체 또는 기체의 부식액을 이용해 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 과정이다. 이를 위해 가우스랩스는 이번 설루션에 가상 계측의 정확도를 높일 수 있는 ‘멀티 스텝 모델링’ 기능을 추가했다.

아울러 가우스랩스 기술진은 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 ‘유사 공정 통합 모델링’ 기능과 데이터 특성에 따른 최적의 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 ‘알고리즘 자동 선정’ 기능도 추가해 가상 계측 품질과 사용자 편의를 동시에 개선했다고 설명했다.

김영한 가우스랩스 대표는 “지난 4년간의 노력들이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있는 만큼 여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척하겠다”고 말했다.

한형용 기자 je8day@

〈ⓒ 대한경제신문(www.dnews.co.kr), 무단전재 및 수집, 재배포금지〉