신성이엔지는 22일 케미컬필터 일체형 팬 필터 유닛 (INTERNAL CHEMICAL FILTER FAN FILTER UNIT) 특허를 취득했다고 공시했다. 특허권자는 신성이엔지와 삼성물산으로 각각 지분은 50%다.

회사는 해당 특허를 반도체, 디스플레이 클린룸 시장에 적용할 계획이다.

구체적인 특허 내용은 일체형 팬 내부에 케미컬필터를 삽입해 클린룸에 발생되는 가스를 제거하고 청정공기를 클린룸 내부에 공급하는 기술을 바탕으로 개발한 발명이다.

기존에 팬필터 유닛 상부에 설치돼 있는 케미컬필터를 내부로 삽입해 클린룸 상부 층고 부족 문제를 해결할 수 있다.

또 케미컬필터를 내부에 삽입함으로써 작업자의 안전성을 확보하고 외부의 충격으로부터 케미컬필터를 보호할 수 있다.


김진솔 기자 realsound@

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